Die Helium Dichtheitsprüfung basiert auf dem Nachweis von Helium als Prüfgas, das in der Umgebungsluft nur in einer sehr geringen natürlichen Konzentration von ca. 5 ppm vorkommt. Daher ist auch durch den Nachweis einer geringen Heliummenge eine zuverlässige Prüfaussage möglich. Vor einer He Dichtheitsprüfung wird in der Regel zuerst eine Grobleckmessung durchgeführt
Die Prüfkammer wird evakuiert und der Prüfling mit Helium beaufschlagt. Durch Leckagen entweichendes Helium wird durch eine Hochvakuumpumpe angesaugt und detektiert
Die Prüflinge werden entweder vor dem Verschließen mit Helium gefüllt oder nachträglich für eine bestimmte Zeit einem Helium-Überdruck ausgesetzt, sodass Helium in den Prüfling eindringt. Anschließendend folgt zeitnah die Prüfung in einer Vakuum-Prüfkammer, bei der die Menge des austretenden Heliums ermittelt wird. Als Nachweissystem für das Prüfgas dient ein Massenspektrometer, das aus einer Ionenquelle, dem Trennsystem sowie dem Ionendetektor aufgebaut ist
Einige Anwendungen von Helium:
Weitere Testgase für die Dichtheitsprüfung sind z.B. Wasserstoff und SF6.